日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
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產(chǎn)品名稱: 日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: 日本Panasonic松下
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簡(jiǎn)單介紹
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
投光元件 LED(調(diào)制式)
材質(zhì) 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長(zhǎng)300mm
電纜延長(zhǎng) 0.15mm2 以上的電纜全長(zhǎng)可延長(zhǎng)至10m
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
的詳細(xì)介紹
日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
產(chǎn)品樣本：
實(shí)現(xiàn)0.5ms的*速反應(yīng)。兼顧*速反應(yīng)性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測(cè)
利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
M-DW1以反射光的位置來檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。
因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
結(jié)構(gòu)圖：
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中心測(cè)量距離
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45mm
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檢測(cè)物體
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3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
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可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面
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有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)
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檢測(cè)角度
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12.5±5°(注4)
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晶圓間距
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間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)
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適用晶圓盒
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SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
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電源電壓
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12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下
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消耗電流
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65mA以下
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日本神視晶圓定位傳感器環(huán)境兼容性
